零件经真空热处理后﹐畸变小﹐质量高﹐且工艺本身操作灵活﹐无公害。因此真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段﹐而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用﹐特别是工具﹑模具和精密耦件等﹐经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后﹐其寿命比原来盐浴处理的高40～400％﹐而有许多工具的寿命可提高3～4倍左右。此外﹐真空加热炉可在较高温度下工作﹐且工件可以保持洁净的表面﹐因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。因此﹐某些化学热处理﹐如渗碳﹑渗氮﹑渗铬﹑渗硼﹐以及多元共渗都能得到更快﹑更好的效果。